HOME / 코팅 시스템 / CARBOZEN™-LAB
CARBOZEN™-LAB
합리적 가격으로 다양한 플라즈마 코팅 테스트가 가능한 Multi Coater
CARBOZEN™-LAB 시리즈는 연구소 및 프로토타입 생산에 최적화된 컴팩트한 사이즈의 코팅 시스템입니다.
합리적인 가격에 DLC, 메탈 코팅, 데코레이션 컬러 코팅 등 다양한 진공증착 테스트가 가능하도록 Customer-oriented 시스템을 구축하여 드립니다.
CARBOZEN™-LAB 시리즈는
연구소 및 프로토타입 생산에
최적화된 컴팩트한 사이즈의 코팅
시스템입니다.
합리적인 가격에 DLC, 메탈 코팅,
데코레이션 컬러 코팅 등 다양한
진공증착 테스트가 가능하도록 Customer-oriented 시스템을
구축하여 드립니다.
시스템 사양
| 플라즈마 소스 | LIS (Linear Ion Source) UBM Sputter (Unbalanced Magnetron Sputter) Cathodic Arc |
| 챔버크기 | Ø500 × H250 mm, Custom-made |
| 캐소드 사이즈 | Ø 300 mm |
| 작동가스 | Mass flow control system Ar · O2 · N2 · etc |
| 프로세스 | 전자동 / 반자동 |
주요 특징
- 고객 예산을 고려한 다양한 옵션 구비
- 축적해 온 코팅 양산화 기술로 최적화된 솔루션 제공
- 코팅 공정에 대한 세밀한 설계와 수정이 가능하고 쉽게 사용이 가능한 소프트웨어 장착
CARBOZEN™-LAB 스펙표
●=Standard / ●=Option
| Components | Full Option | PECVD | Sputtering | Metal-ARC | Specifications |
| Rotary pump | ● | ● | ● | ● | 4 ~ 60 m3/h |
| Turbo pump | ● | ● | ● | ● | 200 ~ 400 l/s |
| Throttl Valve | ● | ● | Blade type | ||
| Baratron Gauge | ● | ● | 0.1 ~ 1torr | ||
| Pressure Controller | ● | ● | Automatic Control | ||
| Heater | ● | ● | ● | ● | 400 ~ 500 ℃ |
| 1 Fold Turntable | ● | ● | 3 Axis Rotation | ||
| 2 Fold Turntable | ● | ● | ● | ● | 3 Axis Rotation & Revolution |
| Sputter DC Power Supply | ● | ● | 2 KW DC | ||
| Ion Source DC Power Supply | ● | ● | ● | 10 KW DC | |
| Cathodic Arc Power Supply | ● | ● | 5 KW DC | ||
| Bias Power Supply | ● | ● | ● | ● | 5 KW 350kHz |
| Cathode Power Supply | ● | ● | AC or RF | ||
| 4 Inch Sputter Source | ● | ● | Unbalanced Magnetron Sputter | ||
| 4 Inch Ion Source | ● | ● | ● | ● | Closed drift Type |
| 3 Inch Cathodic Arc Source | ● | ● | Direct cooling Type |
