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METALLION™

다양한 종류의 메탈 하드 코팅을 위한 코팅 솔루션​

METALLION™은 아크 방전을 이용하여 음극부의 메탈 타겟을 증발시켜 이를 표면에 증착 시키는 코팅 시스템입니다.
사용 타겟에 따라 TiN, TiCN, TiAlN, CrN 등 다양한 조합의 메탈 코팅이 가능하며,
고객사에 필요에 따라 시스템의 모든 사양을 최적화하여 제공합니다.

METALLION™은 아크 방전을 이용하여 음극부의 메탈 타겟을 증발시켜 이를 표면에 증착 시키는 코팅
시스템입니다.
사용 타겟에 따라 TiN, TiCN, TiAlN, CrN 등 다양한 조합의 메탈 코팅이 가능하며, 고객사에 필요에 따라
시스템의 모든 사양을 최적화하여
제공합니다.

시스템 사양
플라즈마 소스 5″ Cathodic Metal Arc Source
(Auto trigger, Direct Water Cooling)
챔버 크기 Ø600×H600, Ø700×H900, Ø800×H1000,
Ø1000×H1000, Ø1000×H1200, Custom-made
지그 시스템 2 fold or 3 fold
작동 가스 Mass flow control system
Ar · O2 · N2 · etc
초기 진공도 ~10-6Torr
바이어스 전원 Pulsed DC
히터 Max 480℃
프로세스 전자동 / 반자동
METALLION
Metal Cathodic Arc Source의 장점
  • 다양한 코팅막 증착이 가능
  • 높은 이온화율 및 증착율
  • 금속 모재 또는 코팅 상대재에 대한 우수한 접착력
  • 높은 재현성과 유지보수의 용이성
Coating 특성
코팅명 TiN TiCN TiAlN AlTiN CrN NANO QUARTETTMTM
경도 (Hv) 2,200 3,000 3,000 3,200 1,800 3,500
마찰 계수 0.4 0.3 0.4 0.4 0.4 0.35
코팅 두께 (㎛) 적용 분야에 따라 변경 가능
최대 적용 온도 (℃) 600 700 900 900 600 1,100
박막 색상 황금색 은회색 보라빛 회색 회색 은회색 회색
응용 분야
  • TiN, TiCN, TiAlN, AlTiN, CrN, ZrN 코팅 등 적절한 Target Material을 선택함으로써 다양한 코팅 가능

TiN

TiCN

TiAlN

AlTiN

CrN

ZrN

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응용 분야
  • TiN, TiCN, TiAlN, AlTiN, CrN 코팅 등 적절한 Target Material을 선택함으로써 다양한 코팅 가능

TiN

TiCN

TiAlN

AlTiN

CrN

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