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잔류 응력 측정기 | Residual Stress Tester
잔류 응력 측정기
Residual Stress Tester
OptiCurveTM α는 레이저 광학 기반의 박막 응력 측정 시스템입니다.
OptiCurveTM α는 Multi-Laser Beam을 이용해 기판 • 박막 복합체의 변형된 곡률을
측정하여 박막의 잔류 응력을 산출합니다.
OptiCurveTM α는 레이저 광학
기반의 박막 응력 측정 시스템입니다.
OptiCurveTM α는 Multi-Laser Beam을 이용해 기판 • 박막
복합체의 변형된 곡률을 측정하여
박막의 잔류 응력을 산출합니다.
- 기판 • 박막 복합체의 곡률을 통한 박막 잔류 응력 산출 (Stoney Equation)
- Multi-Laser Beam을 이용한 정확하고 빠른 곡률 측정
- 3축 모션 제어 시스템
- PC 제어에 의한 데이터 수집 및 분석
- WINDOWS® 기반의 사용자 친화적인 소프트웨어를 제공
- 일체형 제어 장치
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기술사양
| 곡률 측정 범위 | 0.8 m ~ 200 m |
| 곡률 측정 분해능 | Up to 1×10-4 m-1 ( rms: 5×10-4 m-1 ) |
| 측정 가능한 기판의 재질 | Si Wafer (100) |
| 측정 가능한 샘플의 크기 | 40mm x 4mm |
| 측정 가능한 샘플의 두께 | 300μm |
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