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DLC-coated Lapping Carrier
高性能DLCコーティングラッピングキャリア
- シリコンウェハーの平坦化・研磨に不可欠なラッピングキャリア。
- 弊社のDLCコーティングは、秀逸の耐摩耗性と化学的安定性で高品質を支えます。
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特長
- 革新的なDLCコーティング技術を適用し、従来の競合製品と比較して耐摩耗性および耐化学性に優れ、価格面でも高い競争力があります。
- 再現性に優れたワンストッププロセスを構築し、ウェーハキャリア 1セット（5枚）を1バッチで生産します。
** 顧客の工程特性に合わせた製品設計・製作が可能
** コーティング設備の製作・供給にも対応
ONE-STOP PROCESS
最適材料の選定 →
最適材料の選定
最適な作業条件と
品質維持のための素材
注文生産
形状加工 →
形状加工
精密レーザー加工機
CAD＆加工レシピ専門エン ジニア
CAD＆加工レシピ専門エン ジニア
ラッピング →
ラッピング
30B ラッピング専用装置
J&L測定装置で製品の工程精 度を確認
J&L測定装置で製品の工程精 度を確認
ポリッシング →
ポリッシング
32B Polishing専用装置
DLCコーティング →
DLCコーティング
J&L Tech製DLC コーテ
ィング専用装置
ハード/ソフト ウェア 研究開発
ハード/ソフト ウェア 研究開発
インサート →
インサート
インサート金型＆ルーテ
ィーング装置
ィーング装置
検収
検収
全ての作業工程で
J&L Tech製試験装置に より検査
J&L Tech製試験装置に より検査
28B、30B 製品仕様
** 顧客の要求に応じた仕様のカスタマイズにも対応可能
| 28, 30B Lapping Carrier | Wafer Size | 300mm (12”) |
| Diameter | ø724mm ~ ø749mm | |
| ウェハーホール | 3個 | |
| Thickness | 777㎛ ± 1.0㎛(標準) | |
| 検査基準 | 剥離、スクラッチ無き事 | |
| Body | Material | Stainless Steel 420 J2 (+DLC Coating) |
| Hardness | Hv 560 ± 10 | |
| Outer diameter | 724m ± 0/-0.3mm(one side) | |
| Insert | Material | PVDF (Black) |
| DLC Coating | Thickness | 2.5 ± 1.0㎛ (one side) |
| Diameter | 705mm ± 1mm | |
| Hardness | 20.0 Gpa (Nano Identation) = Hv 1,960 | |
| Adhesion Force | 25 N (Scratch Tester, Based on SKD11) |
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