メニュー
HOME / コーティングシステム / METALLION™
METALLION™
様々な種類のメタルハードコーティングのためのソリューション
METALLION™は、アーク放電を利用して陰極部のメタルターゲットを蒸発させ、それを製品の表面に蒸着させるコーティングシステムです。
使用ターゲットによってTiN、TiCN、TiAlN、CrNなど様々なメタルコーティングが可能で、
お客様の要望に応じてシステムの全仕様を最適化して提供します。
METALLION™は、アーク放電を利用して陰極部のメタルターゲットを蒸発させ、それを製品の表面に蒸着させるコーティングシステムです。
使用ターゲットによってTiN、TiCN、TiAlN、CrNなど様々なメタルコーティングが可能で、
お客様の要望に応じてシステムの全仕様を最適化して提供します。
システム仕様
| プラズマソース | 5″ Cathodic Metal Arc Source (Auto trigger, Direct Water Cooling) |
| チャンバーサイズ | Ø600×H600, Ø700×H900, Ø800×H1000, Ø1000×H1000, Ø1000×H1200, Custom-made |
| 治具システム | 2 fold or 3 fold |
| 作動ガス | Mass flow control system Ar · O2 · N2 · etc |
| 初期真空度 | ~10-6Torr |
| バイアス電源 | Pulsed DC |
| ヒーター | Max 480℃ |
| プロセス | 全自動 / 半自動 |
Metal Cathodic Arc Sourceの長所
- 様々なコーティング膜の蒸着が可能
- 高い蒸着率及びイオン化率
- 金属母材またはコーティング相対材に対する優れた密着力
- コーティング相対材に対する高い密着力
- 高い再現性と容易なメンテナンス
