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METALLION™

様々な種類のメタルハードコーティングのためのソリューション​

METALLION™は、アーク放電を利用して陰極部のメタルターゲットを蒸発させ、それを製品の表面に蒸着させるコーティングシステムです。
使用ターゲットによってTiN、TiCN、TiAlN、CrNなど様々なメタルコーティングが可能で、
お客様の要望に応じてシステムの全仕様を最適化して提供します。

METALLION™は、アーク放電を利用して陰極部のメタルターゲットを蒸発させ、それを製品の表面に蒸着させるコーティングシステムです。
使用ターゲットによってTiN、TiCN、TiAlN、CrNなど様々なメタルコーティングが可能で、
お客様の要望に応じてシステムの全仕様を最適化して提供します。

システム仕様
プラズマソース 5″ Cathodic Metal Arc Source
(Auto trigger, Direct Water Cooling)
チャンバーサイズ Ø600×H600, Ø700×H900, Ø800×H1000,
Ø1000×H1000, Ø1000×H1200, Custom-made
治具システム 2 fold or 3 fold
作動ガス Mass flow control system
Ar · O2 · N2 · etc
初期真空度 ~10-6Torr
バイアス電源 Pulsed DC
ヒーター Max 480℃
プロセス 全自動 / 半自動
METALLION
Metal Cathodic Arc Sourceの長所
  • 様々なコーティング膜の蒸着が可能
  • 高い蒸着率及びイオン化率
  • 金属母材またはコーティング相対材に対する優れた密着力
  • コーティング相対材に対する高い密着力
  • 高い再現性と容易なメンテナンス
応用分野
  • TiN、TiCN、TiAlN、AlTiN、CrNコーティングなど適切なターゲット素材を選択することで様々なコーティングが可能

TiN

TiCN

TiAlN

AlTiN

CrN

応用分野
  • TiN、TiCN、TiAlN、AlTiN、CrNコーティングなど適切なターゲット素材を選択することで様々なコーティングが可能

TiN

TiCN

TiAlN

AlTiN

CrN