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CARBOZEN™-LAB

リーズナブルな価格で多様なプラズマコーティングテストが可能なMultiCoater

CARBOZEN™-LABシリーズは、研究所及びプロトタイプ生産に最適化されたコンパクトサイズのコーティングシステムです。
リーズナブルな価格でDLC、メタルコーティング、デコレーションカラーコーティングなど、様々な真空蒸着テストができるようにオーダーメイドが可能な装置です。

CARBOZEN™-LABシリーズは、研究所及びプロトタイプ生産に最適化されたコンパクトサイズのコーティングシステムです。
リーズナブルな価格でDLC、メタルコーティング、デコレーションカラーコーティングなど、様々な真空蒸着テストができるようにオーダーメイドが可能な装置です。

システム仕様
プラズマソース LIS (Linear Ion Source)
UBM Sputter (Unbalanced Magnetron Sputter)
Cathodic Arc
チャンバーサイズ Ø500 × H250 mm, Custom-made
カソードサイズ Ø 300 mm
作動ガス Mass flow control system
Ar · O2 · N2 · etc
プロセス 全自動 / 半自動
CARBOZEN-LAB
主な特長
  • お客様の予算を考慮した様々なオプション
  • 蓄積してきたコーティング量産化技術で最適化されたソリューションを提供
  • コーティング工程の細かな設計と修正が可能で、簡単に使用できるソフトウェアを装着
CARBOZEN™-LAB 仕様表
●=Standard / ●=Option
Components Full Option PECVD Sputtering Metal-ARC Specifications
Rotary pump ● ● ● ● 4 ~ 60 m3/h
Turbo pump ● ● ● ● 200 ~ 400 l/s
Throttl Valve ● ● Blade type
Baratron Gauge ● ● 0.1 ~ 1torr
Pressure Controller ● ● Automatic Control
Heater ● ● ● ● 400 ~ 500 ℃
1 Fold Turntable ● ● 3 Axis Rotation
2 Fold Turntable ● ● ● ● 3 Axis Rotation & Revolution
Sputter DC Power Supply ● ● 2 KW DC
Ion Source DC Power Supply ● ● ● 10 KW DC
Cathodic Arc Power Supply ● ● 5 KW DC
Bias Power Supply ● ● ● ● 5 KW 350khz
Cathode Power Supply ● ● AC or RF
4 Inch Sputter Source ● ● Unbalanced Magnetron Sputter
4 Inch Ion Source ● ● ● ● Closed drift Type
3 Inch Cathodic Arc Source ● ● Direct cooling Type
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