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FCVA

FCVA (Filtered Cathodic Vacuum Arc)

  • Filtered Cathodic Vacuum Arcは、アーク放電(Arc discharge)を利用して陰極部の物質を蒸発させ、これを製品の表面に蒸着させる装置です。

  • Arc放電はイオンと共に数㎛サイズのドロップレット(Droplet)を発生させます。 このドロップレットが薄膜に含まれると表面粗さなどの物性が低下します。

  • 当社のFCVAシステムは、磁気濾過フィルター(Magnetic filter)を装着してドロップレットを完璧に除去します。 FCVAはプラズマイオンのみを製品表面に到達させ、本システムでコーティングされた薄膜は表面粗さなどの様々な物性に優れています。

FCVA Sourceの構造及び原理

  • アーク発生部(A): コーティング物質の表面にアーク発生

  • フィルタリング部(B): ドロップレットの除去及びプラズマイオンの通過

  • 出口部(C): フィルタリング部を通過したプラズマイオンビームを基板に蒸着

Filtered Cathodic Vacuum Arc

Single bent

Ultra-smooth surface

Double bent

arc beam

Arc discharge

FCVA Sourceの特性

  • Dual bent ductのフィルタリングによるドロップレットの除

  • Ultra-smooth表面粗さ

  • Beam-rasteringによる大面積コーティング

  • プラズマビームの安定性のための革新的な電極デザイン

  • 相対材に対する高い密着力

  • 高い再現性と容易なメンテナンス

Single-Filtering

Double-Filtering (Ultra-Smooth)

Scan area : 2x2 um2 , Ra = 0.02 nm

FCVA Sourceの仕様
Single Bent Double Bent
陰極 ターゲット 材質 Graphite
サイズ ø75 x 25(L) mm
ダクト サイズ I.D.ø144mm, O.D.ø165.2mm
角度 45°
濾過方式 Single Double
磁石 Source magnet (SM), Bending magnet (BM),
Output magnet(OM), Raster magnet(RM)		 Source magnet (SM), Bending magnet (BM),
Emission magnet(EM), Output magnet (OM),
Raster magnet(RM)